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(1)電子槍：電子槍是電子束熔煉爐的心臟。它包括槍頭(一般由燈絲、陰極、陽極等組成)、聚焦線圈和偏轉線圈等。電子槍按其結構形式可分為軸向槍(或稱皮爾斯槍)、非自加速環形槍、自加速環形槍及橫向槍。電子槍的數量有單槍、雙槍和多槍等；
(2)進料系統：如果原料為預制好的自耗電極時，一般采用縱向或橫向機械進料方式:如果原料為屑、塊或順粒狀時，則采用給料倉的方式；
(3)鑄錠系統：包括結晶器、拉錠機構和出錠機構等；
(4)真空系統：包括真空機組、真空室、真空管道及閥門和真空測量系統等；
(5)電源系統；包括主電源(電子槍電源)及控制電源和操作電源等；
(6)冷卻系統：包括全部冷卻用水及管道閥門等 。
主要有熔化功率、熔化速度、比電能、真空度和漏氣速率等，如熔煉次數、自耗電極與坩堝直徑比、冷卻速率及鑄錠冷卻制度等也須注意合理選擇。在諸參數中，熔化功率、熔化速度及比電能是影響鑄錠質量*重要的因素。在整個熔煉過程中，這3個參數的控制應有所變化。
熔煉初期，真空度比較低，爐料及坩堝都處在常溫下，熔池尚未形成，熔化功率應低一些，熔速應慢一些；熔化末期，為了消除鑄錠頂部縮孔，熔化功率及熔速必須有一個逐步下降的過程，以完成補縮。補縮時間的長短與鑄錠的大小及熔化金屬的種類有關;而在熔煉中間大部分的正常熔化期內，熔化功率及熔速應保持穩定。
