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電子束熱處理是利用高能量密度的電子束加熱，進行表面淬火的新技術。電子束是由電子槍呢熱陰極（燈絲）發出的電子，通過高壓環形陽極加速，并聚焦成束使電子束流打擊金屬表面，達到加熱的效果。被處理零件的加熱深度，是加熱加速電壓和金屬密度的函數，當功率為150kw時，在鐵中的理論加熱深度為0.076mm，而在鋁中的則為0.178。
電子束熱處理包括電子束表面合金化，即用電子束加熱涂覆在工件表面的粉末狀合金元素(單一金屬或合金粉末)使其熔化并擴散入基體表面層，從而得到耐磨、耐腐蝕或耐熱的表面層。
電子束是由電子槍內熱陰極(燈絲)發出的電子，通過高壓環形陽極加速并聚集成束，使電子束流打擊金屬表面，達到加熱的效果。表面加熱深度主要取決于加速電壓。
電子束熱處理優點：
電子束熱處理的主要優點是加熱速度快，變形??；淬火后可獲得細晶組織。
