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電子束熔煉的工藝特點是在高真空環境下進行熔煉(熔煉真空度一般在10-1至10-3Pa)，熔煉時熔池的溫度及其分布可控，熔池的維持時間可在很大的范圍內調整;熔煉是在水冷銅坩堝(結晶器)內進行的，可以有效地避免金屬液被耐火材料污染。因此可以說，電子束熔煉為一些金屬材料、特別是難熔金屬提供了一種不可缺少的精煉手段 。
電子束熔煉過程中的冶金反應——電子束熔煉過程存在3種基本的冶金反應:
(1)除氣口電子束熔煉可除去大多數金屬中的氫、且氫的去除很容易，一般在爐料被熔清之前即已基本完成:由于真空度高，熔池溫度及處于液態的時間可控，脫氮效果也很高。
(2)金屬雜質的揮發。在電子束熔煉溫度下，凡是比基體金屬蒸氣壓高的金屬雜質均會不同程度地得以揮發去除。
(3)去除非金屬央雜物。氧化物及氮化物夾雜物在電子束熔煉溫度及真空度下，有可能分解出〔O〕及〔N〕被去除;〔O〕還可以通過碳氧反應而被去掉;此外，錠子自下而上的順序凝固特點也有利于非金屬夾雜物的上浮 。
