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電子束熔煉的概念是M.V.皮拉尼(M.VonPirani)于1905年提出的，但直到50年代中期美國成功地開發電子束熔煉爐后才在熔煉難熔金屬鎢、鉬、鉭等的冶金領域獲得工業應用。1959年民主德國LEW公司開發了功率為45kW的電子束熔煉爐，60年代又先后研制出200kW和1200kW的電子束熔煉爐，并出口蘇聯、中國等國。80年代，該公司又成功地開發了EH系列30、80、250、600、1200W高能電子槍，并與蘇聯合作制造了能夠生產30t(采用5支EH1200kW高能電子槍)和100t(采用7支EM1200kW高能電子槍)鋼錠的電子束熔煉爐。與此同時，聯邦德國的萊寶股份有限公司(LH公司)和美國的Consarc公司相繼開發了用于W、Ta、Mo、Nb、V等高熔點金屬熔煉的電子束滴流熔煉爐和用于回收欽廢料，生產欽錠、欽板坯，熔煉高溫合金包括等軸細晶超強高溫合金錠以及超強合金鋼錠的電子束連續流熔煉爐。
電子束熔煉爐通常使用間熱式軸向電子槍，有時一臺設備配幾支槍，呈環狀布置，以便從幾個方向轟擊爐料。熔煉分滴熔和池熔兩種型式。滴熔時，原料制成棒狀，從水平或垂直方向進到電子束通路中，料棒端頭受電子束轟擊后，熔化成熔滴，滴入坩堝內的熔池中。池熔時，原料呈顆粒狀或粉狀直接加到熔池中，電子束轟擊熔池表面使之熔化。前者冶金效果(除氣、去雜)好，后者便于調整合金成分，因此兩者常配合使用。坩堝又叫結晶器，用銅制成，外周用水或其他液體冷卻，隨著熔煉作業的進展，熔池底部金屬逐漸冷凝，*后形成錠子。
