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什么是電子束加工？
電子束加工是利用高能量的會聚電子束的熱效應或電離效應對材料進行的加工。例如對材料表面進行熱處理、焊接、刻蝕、鉆孔、熔煉或直接使材料升華。電子束的特點是功率密度大，能在瞬間將能量傳給工件。電子束的能量和位置可以用電磁場JING確和迅速地調節，實現計算機控制。在微電子工藝中，電子束曝光是一種重要的亞微米加工技術，通過控制電子束輻照光致抗蝕劑的特定位置，以形成極精細的圖形。它在大規模集成電路和微波半導體器件的生產中已得到應用。
電子束加熱技術是在高真空條件下利用高速運動的電子運動動能轉換成熱能的一種加熱技術。
在真空條件下利用材料的電子熱發射產生電子云，在直流高壓加速電場的作用下，電子產生定向運動，通過聚焦形成電子束。當高能電子束轟擊到所需加熱的金屬靶時，高能電子與靶材發生碰撞，將電子動能轉換為熱能，由于電子束功率密度大，使靶材瞬時高溫熔化。
真空電子束熔煉是在高真空條件下，利用電子束轟擊所需熔煉的材料使之瞬間高溫熔化，由于材料過熱溫度高，氣體雜質迅速分解、脫氣、脫氧、低熔點雜質快速揮發，從而達到精煉提純的目的。
